고배률전자현미경은 신제품, 신소재, 신공법을 연구, 개발하는 데 쓰인다.
막 재료, 판재 표면의 물방울 각과 기름 방울각의 검사에 사용되어 렌즈 표면의 처리 효과나 세척 효과를 확인한다.
나노급 박막 두께 측정에 사용되며, 렌즈 표면과 접촉하지 않음으로써 동작에 렌즈가 긁히는 것을 방지한다. 동시에 테스트 속도가 빠르고 측정 정밀도가 높아 1초 이내에 높은 안정성과 반복성을 실현한다.
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